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Polarisation Lithografie
Optische Lithografie bietet eine hoch produktive und profitable Möglichkeit Mikroschaltungen auf Silizium-Wafern von immer kleinere Funktionen im Fotolack imaging zu machen. Polarisation Lithographie bezieht sich ausdrücklich auf die Verwendung von polarisiertem Licht zur Beleuchtung innerhalb eines optischen lithographischen Systems zur Verbesserung der Qualität der Bildgebung und der Auflösung. Auf der Suche nach immer größeren Auflösung, moderne Fertigung Ausstattung, dass alle irgendeine Form der Polarisation Lithografie um zu produzieren High-Tech-Computer-Chips verwenden. Dieser Artikel beschreibt die Grundlagen der Polarisation Lithografie und warum es wichtig ist.
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