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Silicon wafer
A silicon wafer is a thin, circular slice of single-crystal semiconductor material used in manufacturing of semiconductor devices and integrated circuits.
Branche: Halbleiter
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Silicon wafer
Batch-Prozess
Halbleiter; Siliziumscheibe
Prozess, in dem viele Wafer gleichzeitig, im Gegensatz zu einem einzelnen Wafer-Prozess verarbeitet werden.
Sauerstoff in Silizium
Halbleiter; Siliziumscheibe
Sauerstoff findet seinen Weg in Silizium während der Einzel-Kristallwachstum Czochralski-Verfahren; in mäßiger Konzentration (unter 1017cm3) Sauerstoff verbessert die mechanische Eigenschaften von ...
Punkt defekt
Halbleiter; Siliziumscheibe
Eine lokalisierte Kristall defekt wie Gitter Vakanz, interstitielle Atom oder ersatzweise Beimischungen. Kontrast mit hellen Punkt defekt.
Partikel
Halbleiter; Siliziumscheibe
Eine kleine, diskrete Stück Fremdkörper oder Silicium nicht verbunden Kristallographie auf den Wafer.
planare defekt
Halbleiter; Siliziumscheibe
Auch bekannt als Bereich defekt; im Grunde ein Array von Verrenkungen, z. B. Korn Grenzen, Stapeln Fehler.
physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Halbleiter; Siliziumscheibe
Abscheidung von dünnen Film erfolgt durch physischen Transfer von Material (z. B. thermische Verdampfung und Sputtern) von der Quelle auf das Substrat, die chemische Zusammensetzung des hinterlegten ...
