Silicon wafer

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A silicon wafer is a thin, circular slice of single-crystal semiconductor material used in manufacturing of semiconductor devices and integrated circuits.

Branche: Halbleiter

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Silicon wafer

Die maximale Abweichung der Wafer-Dicke. Total Thickness Variation wird in der Regel bestimmt durch die Messung des Wafers an 5 Standorten von einem Kreuz Muster (nicht zu nah an der Waferkante) und ...

Dunst

Halbleiter; Siliziumscheibe

Nicht lokalisierte Lichtstreuung mit aufgrund der Oberflächentopographie (Mikro Rauheit) oder von dichten Konzentrationen der Oberfläche oder nahe der Oberfläche Unvollkommenheiten.

globale Ebenheit

Halbleiter; Siliziumscheibe

Die TIR oder die maximale FPD relativ zu einem angegebenen Referenzebene innerhalb der FQA.

Brennebene

Halbleiter; Siliziumscheibe

Die senkrecht zur optischen Achse eine imaging-System, das im Mittelpunkt der imaging-System enthält.

Ebenheit

Halbleiter; Siliziumscheibe

Für Wafer-Oberflächen die Abweichung von der Front Oberfläche, ausgedrückt in TIR oder maximale FPD, relativ zu einem angegebenen Verweis Flugzeug wenn die hintere Oberfläche des Wafers ideal flach, ...

Wohnung

Halbleiter; Siliziumscheibe

Ein Teil der Peripherie eine kreisförmige Wafer, die zu einem Akkord entfernt wurde.

externe, extrinsische gettering

Halbleiter; Siliziumscheibe

Der Prozess, in dem Gettering Verunreinigungen und Defekte in einem Halbleiter Wafer erfolgt durch betonte seine hintere Oberfläche (durch Induktion Schaden oder Hinterlegung Material mit anders als ...